広視野レーザ干渉計によるナノ形状の新規計測手法の開発 ‐参照板に成膜する金属材料の影響‐
広視野レーザ干渉計によるナノ形状の新規計測手法の開発 ‐参照板に成膜する金属材料の影響‐
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使用宽视场激光干涉仪开发纳米形状的新测量方法 - 沉积在参考板上的金属材料的影响 -
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宮田晃輔，大原佑太，横山大地，月山陽介，新田勇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masafumi ASAHI;Yasuhiro TAKAYA;Masaki MICHIHATA;旭真史，高谷裕浩，水谷康弘;大原佑太;大原佑太;宮田晃輔，大原佑太，横山大地，月山陽介，新田勇
