Futoshi Isono: "Fabrication Process of an Electrostatic Microvalve Using Plating and Electrodeposition Photoresist" Tech.Digest of the 16th Sensor Symposium. 177-180 (1998)

Futoshi Isono: "Fabrication Process of an Electrostatic Microvalve Using Plating and Electrodeposition Photoresist" Tech.Digest of the 16th Sensor Symposium. 177-180 (1998)
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Futoshi Isono:“使用电镀和电镀光致抗蚀剂的静电微型阀的制造工艺”第 16 届传感器研讨会技术文摘。

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