熱流体解析による凹凸平均間隔がEBポリッシング効果に及ぼす影響の解明
熱流体解析による凹凸平均間隔がEBポリッシング効果に及ぼす影響の解明
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使用热流体分析阐明平均凹凸间距对 EB 抛光效果的影响
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小林裕野，篠永東吾，三浦誠也，岡田晃，辻俊哉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
野村 和史;松村 匠;棚原 歩;佐野 智一;浅井 知;津山 忠久;小谷 祐樹;藤原 康平;小林裕野，篠永東吾，三浦誠也，岡田晃，辻俊哉
