Development of a Miniature Microwave-Multicusp Plasma Source
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复制标题
微型微波多尖点等离子体源的研制
DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Dey Indranuj
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Dey I.;et al.;Dey Indranuj;財前亜美;Dey Indranuj