Design of Solenoidal Electromagnetic Micro- actuator Utilizing 3D X-ray Lithography and Metallization
Design of Solenoidal Electromagnetic Micro- actuator Utilizing 3D X-ray Lithography and Metallization
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利用 3D X 射线光刻和金属化的螺线管电磁微执行器设计
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and T. Hattori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Mochizuki;H. Mekaru;S. Kusumi;N. Sato;M. Shimizu;M. Yamashita;O. Shiada;and T. Hattori
