T.Watanabe et al: "Atomic-Order Thermal Nitridation of Silicon at Low Temperatures" J.Electrochem.Soc.145,12. 4252-4256 (1998)
T.Watanabe et al: "Atomic-Order Thermal Nitridation of Silicon at Low Temperatures" J.Electrochem.Soc.145,12. 4252-4256 (1998)
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T.Watanabe 等人：“硅在低温下的原子级热氮化”J.Electrochem.Soc.145,12。
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