"Room-Temperature Growth of AIN/TiN Epitaxial Multi-layer by Laser Molecular Beam Epitaxy"Thin Solid Films
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“激光分子束外延法室温生长 AIN/TiN 外延多层”固体薄膜
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Wakana Hara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Miao Zhang;・広川 二郎・安藤 真;Wakana Hara;Wakana Hara
