Improvement of Deposition Rate by Sandblast Treatment of Tungsten Wire in Catalytic Chemical Vapor Deposition
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催化化学气相沉积钨丝喷砂处理提高沉积速率
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A.Heya et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Suehiro;Iwata;H.Umemoto et al.;H.Umemoto et al.;S.G.Ansari et al.;A.Masuda et al.;H.Umemoto;S.G.Ansari et al.;T.Osono et al.;H.Umemoto;A.Masuda et al.;T.Morimoto et al.;T.Osono et al.;A.Masuda et al.;A.Heya et al.
