Impact of Carbon Impurity on Electrical Properties of TiN/HfSiON/SiO_2
Impact of Carbon Impurity on Electrical Properties of TiN/HfSiON/SiO_2
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碳杂质对TiN/HfSiON/SiO_2电性能的影响
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐伯雅之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Hashimoto;et al.;有村拓晃;佐々木恵吾;佐伯雅之
