Kunihide Tachibana: "Spectroscopic measurement of the production and the transport of CH radicals in a methane plasma used for the CVD of aーC:H" Japanese Journal of Applied Physics. 29. 2156-2164 (1990)

Kunihide Tachibana: "Spectroscopic measurement of the production and the transport of CH radicals in a methane plasma used for the CVD of aーC:H" Japanese Journal of Applied Physics. 29. 2156-2164 (1990)
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Kunihide Tachibana:“用于 a-C:H CVD 的甲烷等离子体中 CH 自由基的产生和传输的光谱测量”《日本应用物理学杂志》29. 2156-2164 (1990)。

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