パックセメンテーション法によるZr表面へのSi拡散層の形成に及ぼす活性化剤の影響
パックセメンテーション法によるZr表面へのSi拡散層の形成に及ぼす活性化剤の影響
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活化剂对包埋法Zr表面Si扩散层形成的影响
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
于 鎮華，佐藤菜花，福本倫久，原 基
中科院分区：
文献类型：
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作者：
古賀健司;平澤誠一;于 鎮華，佐藤菜花，福本倫久，原 基
