Y.KIMURA and T.SHIRATO: "Correlation between Interfacial State of Plasma CVD Coated TiN Film/Substrate and Pinhole Defect Ratio Evaluation by CPCD Method"Proc.of The 13th Euro.Conf.on Fracture. CD Vol.Ceram.No.8. 1-6 (2000)
Y.KIMURA and T.SHIRATO: "Correlation between Interfacial State of Plasma CVD Coated TiN Film/Substrate and Pinhole Defect Ratio Evaluation by CPCD Method"Proc.of The 13th Euro.Conf.on Fracture. CD Vol.Ceram.No.8. 1-6 (2000)
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Y.KIMURA 和 T.SHIRATO：“等离子体 CVD 涂层 TiN 薄膜/基材的界面状态与 CPCD 方法评估针孔缺陷率之间的相关性”第 13 届欧洲断裂会议论文集。
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