H.Soyama (H.Kumano and M.Saka): "Possibility of Gettering in Silicon Wafer by Using a Cavitating Jet"噴流工学. 18・1(発表予定). (2001)
H.Soyama (H.Kumano and M.Saka): "Possibility of Gettering in Silicon Wafer by Using a Cavitating Jet"噴流工学. 18・1(発表予定). (2001)
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H.Soyama（H.Kumano 和 M.Saka）：“使用空化射流在硅片中吸杂的可能性”喷射工程 18・1（即将发表）。
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