スピンコート法で作製したIGZO薄膜の特性に与える焼成温度と時間の影響
スピンコート法で作製したIGZO薄膜の特性に与える焼成温度と時間の影響
复制标题
烧成温度和时间对旋涂法制备IGZO薄膜性能的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
大木義路
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
陳東京;森本貴明;福田伸子;大木義路
