M.Hatakeyama, et.al.: "Integrated Fast Atom Beam Processes for Fabricating Micro Diffractive Grating Structures and Micro Textured Surface"Adv.Info.Storage Syst.. Vol.10. 369-381 (1999)
M.Hatakeyama, et.al.: "Integrated Fast Atom Beam Processes for Fabricating Micro Diffractive Grating Structures and Micro Textured Surface"Adv.Info.Storage Syst.. Vol.10. 369-381 (1999)
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M.Hatakeyama 等人：“用于制造微衍射光栅结构和微纹理表面的集成快速原子束工艺”Adv.Info.Storage Syst.. 第 10 卷。
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