Transverse magnetic field effects on spatial electron temperature distribution in a 13.56 MHz parallel plate capacitive discharge
Transverse magnetic field effects on spatial electron temperature distribution in a 13.56 MHz parallel plate capacitive discharge
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DOI：
10.1063/1.5118762
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发表时间：
2020-03
影响因子：
2.2
通讯作者：
S. Binwal;Y. Patil;S. Karkari;L. Nair
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Binwal;Y. Patil;S. Karkari;L. Nair
本文研究了横向磁场对电容驱动矩形放电板中心连线上沿着空间电子温度分布的影响。
The effect of a transverse magnetic field on spatial electron temperature Te distribution along the line joining the center of capacitively driven rectangular discharge plates, operated at 13.56 MH...