高周波MEMS素子用超高速2次元走査光プローブの開発
高周波MEMS素子用超高速2次元走査光プローブの開発
复制标题
高频MEMS器件超高速二维扫描光学探针的研制
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
呉楠
中科院分区：
文献类型：
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作者：
橋本研也;呉楠
