Y.Watamabe: "Effects of Particles on He-SiH_4 Modulated RF Discharges" Plasma Sources Sci.Technol.3. 355-359 (1994)
Y.Watamabe: "Effects of Particles on He-SiH_4 Modulated RF Discharges" Plasma Sources Sci.Technol.3. 355-359 (1994)
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Y.Watamabe：“粒子对 He-SiH_4 调制射频放电的影响”等离子体源 Sci.Technol.3。
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