表面活性化室温接合法によるInP-on-Insulatorウエハの作製
表面活性化室温接合法によるInP-on-Insulatorウエハの作製
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采用表面激活室温键合方法制造 InP-on-Insulator 晶圆
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
章 固非, 村上 誠悟, 渡辺 要, 多喜川 良
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Fitzky Gabriel;Nakajima Makoto;Koike Yohei;Leitenstorfer Alfred;Kurihara Takayuki;Y. Mizugaki;章 固非, 村上 誠悟, 渡辺 要, 多喜川 良
