高速AFMの更なる高速化に向けたZ-スキャナの共振制御装置
高速AFMの更なる高速化に向けたZ-スキャナの共振制御装置
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进一步加速高速AFM的Z扫描共振控制装置
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
古寺哲幸
中科院分区:
文献类型:
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作者:
○巽和真;梅田健一;安藤敏夫;古寺哲幸