数値制御ローカルウェットエッチング法による高精度光学素子の作製-中性子集光用楕円面ミラーの作製 第IV報-
数値制御ローカルウェットエッチング法による高精度光学素子の作製-中性子集光用楕円面ミラーの作製 第IV報-
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采用数控局部湿法刻蚀法制造高精度光学元件——中子聚焦用椭球面镜的制造第四部分——
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
曽山和彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
(阪大)永野幹典;高井宏之;是津信行;山村和也;(JAEA)丸山龍治;山崎大;曽山和彦
