AuCu合金蒸着Si基板上に成膜したβ-FeSi_2薄膜の微細構造評価
AuCu合金蒸着Si基板上に成膜したβ-FeSi_2薄膜の微細構造評価
复制标题
AuCu合金沉积Si基体上沉积的β-FeSi_2薄膜的微观结构评价
DOI：
--
复制
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
貴島宏
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
今川翔平;春名匠;安田恭野;本村俊一;河野英人;犬塚純平;貴島宏
