Post-He Plasma Treatment on ZnO Thin Film Fabricated by an Atmospheric Pressure Cold Plasma Generator
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大气压冷等离子体发生器制备的 ZnO 薄膜的 He 等离子体处理
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yoshifumi Suzaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Xiaoyuan Ma;Takuya Todo;Yoshifumi Suzaki
