MEMSとナノテクノロジーのシームレス融合技術 -実装技術への期待と可能性-
MEMSとナノテクノロジーのシームレス融合技術 -実装技術への期待と可能性-
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MEMS与纳米技术的无缝融合技术 -对安装技术的期待和可能性-
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田畑修
中科院分区：
文献类型：
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作者：
菊地哲;愛甲英寿;鎌倉友男;野村英之;酒井新一;田畑修
