S.Miyazaki: "Real Time Monitoring of Surface Reactions during Plasma Enhanced CVD of Silicon" Jpn. J. Appl. Phys.34. 787-790 (1995)
S.Miyazaki: "Real Time Monitoring of Surface Reactions during Plasma Enhanced CVD of Silicon" Jpn. J. Appl. Phys.34. 787-790 (1995)
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S.Miyazaki：“在硅的等离子体增强 CVD 过程中实时监测表面反应”Jpn。
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