N-Face Finishing Influence on Geometry of Double-Side Polished GaN Substrate
N-Face Finishing Influence on Geometry of Double-Side Polished GaN Substrate
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N 面精加工对双面抛光 GaN 衬底几何形状的影响
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Toshiro DOI
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Koji KOYAMA;Hideo AIDA;Michio UNEDA;Hidetoshi TAKEDA;Seong-Woo KIM;Hiroki TAKEI;Tsutomu YAMAZAKI;and Toshiro DOI
