Towars Portable Mems Mass Spectrometer
Towars Portable Mems Mass Spectrometer
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DOI：
10.1109/powermems49317.2019.92321112609
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发表时间：
2019-12
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
P. Szyszka;T. Grzebyk;M. Białas;A. Gorecka-Drzazga;J. Dziuban;D. Hasan;Chang-Soon Lee
中科院分区：
文献类型：
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作者：
P. Szyszka;T. Grzebyk;M. Białas;A. Gorecka-Drzazga;J. Dziuban;D. Hasan;Chang-Soon Lee
本文提出了MEMS质谱仪的概念，它集成了所有必要的模块在一个真空密封的芯片：高真空微泵，样品注入系统，离子源，分析仪和检测器。我们的MEMS质谱仪芯片采用单晶硅和硼硅玻璃基板制造，尺寸为10 × 35 × 10
This paper presents the concept of a MEMS mass spectrometer, which integrates all necessary modules on a single vacuum-sealed chip: a high vacuum micropump, a sample injection system, an ion source, an analyzer and a detector. Our MEMS mass spectrometer chip is fabricated using monocrystalline silicon and borosilicate glass substrates has dimensions of $10 \times 10 \times35$ mm 3 and internal volume of 0.45 cm 3.