磁控溅射镀膜技术的发展

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发表时间:
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期刊:
真空
影响因子:
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通讯作者:
成晓玲
成晓玲
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
余东海;王成勇;宋月贤;成晓玲

文献摘要

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