選択的プラズマエッチングにより一体成形したシリコン電極を用いた小型燃料電池

選択的プラズマエッチングにより一体成形したシリコン電極を用いた小型燃料電池
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采用选择性等离子蚀刻一体形成的硅电极的小型燃料电池

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
影响因子:
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通讯作者:
早瀬仁則
早瀬仁則
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
荒木伸太郎;J.G.A.Brito-Neto;早瀬仁則

文献摘要

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