Deposition of nitrogen doped amorphous carbon film using high power impulse magnetron sputtering
Deposition of nitrogen doped amorphous carbon film using high power impulse magnetron sputtering
复制标题
高功率脉冲磁控溅射沉积氮掺杂非晶碳薄膜
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takayuki Ohta
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ryo Usui;Takayuki Ohta
