Pre-Deformation-assisted Cryogenic Micromachining for Fabrication of Three-dimensional Unique Micro Channels

Pre-Deformation-assisted Cryogenic Micromachining for Fabrication of Three-dimensional Unique Micro Channels
复制标题

用于制造三维独特微通道的预变形辅助低温微加工

DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing
影响因子：
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通讯作者：
T.Aoyama
T.Aoyama
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
K.Mishima;Y.Kakinuma;T.Aoyama

文献摘要

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