ナノインデンターを用いた半導体配線の機械的信頼性評価
ナノインデンターを用いた半導体配線の機械的信頼性評価
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使用纳米压痕仪评估半导体布线的机械可靠性
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宍戸信之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
越智亮太;宍戸信之;佐藤尚;小岩康三;神谷庄司;西田政弘;大宮正毅;鈴木貴志;中村友二;野久尾毅;鈴木俊明;宍戸信之
