Visualization of electrons and holes localized in the thin gate film of metal SiO_2-Si_3N_4-SiO_2 semiconductor type Flash memory using scanning nonlinear dielectric microscopy after weiting-erasing cycling

Visualization of electrons and holes localized in the thin gate film of metal SiO_2-Si_3N_4-SiO_2 semiconductor type Flash memory using scanning nonlinear dielectric microscopy after weiting-erasing cycling
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在微擦除循环后使用扫描非线性介电显微镜观察金属 SiO_2-Si_3N_4-SiO_2 半导体型闪存薄栅膜中电子和空穴的可视化

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
Appl. Phys. Lett. 86・6
影响因子:
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通讯作者:
Koichiro Honda
Koichiro Honda
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
K.Omae;Y.Kawakami;S.Fujita;Y.Narukawa;T.Mukai;宮崎誠一;Koichiro Honda

文献摘要

参考文献

被引文献

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DOI: 10.1143/jjap.39.5719
发表时间: 2000
影响因子: 1.5
作者:
H. Odagawa;Yasuo Cho
通讯作者: Yasuo Cho