4H-SiC(11-20)面(a面) MOS界面欠陥の電子スピン共鳴分光(ESR/EDMR)評価
4H-SiC(11-20)面(a面) MOS界面欠陥の電子スピン共鳴分光(ESR/EDMR)評価
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4H-SiC(11-20)面(a面)MOS界面缺陷的电子自旋共振光谱(ESR/EDMR)评估
DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
梅田享英
中科院分区:
文献类型:
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作者:
近藤蓮;染谷満;渡部平司;梅田享英