M. Nakamura, M. Hori, T. Goto, M. Ito, and N. Ishii: "Spatial distribution of the absolute densities of CF_x radicals in fluorocarbon plasmas determined from single-path infrared laser absorption and laser-induced fluorescence"J. Appl. Phys.. 90(2). 580-5
M. Nakamura, M. Hori, T. Goto, M. Ito, and N. Ishii: "Spatial distribution of the absolute densities of CF_x radicals in fluorocarbon plasmas determined from single-path infrared laser absorption and laser-induced fluorescence"J. Appl. Phys.. 90(2). 580-5
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M. Nakamura、M. Hori、T. Goto、M. Ito 和 N. Ishii：“通过单路红外激光吸收和激光诱导荧光确定的碳氟等离子体中 CF_x 自由基绝对密度的空间分布”J。
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