クラスターイオンビーム 基礎と応用 -次世代ナノ加エプロセス技術-
クラスターイオンビーム 基礎と応用 -次世代ナノ加エプロセス技術-
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簇离子束基础与应用-下一代纳米加工技术-
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山田公 編著
中科院分区：
文献类型：
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作者：
I.Yamada;N.Toyoda;山田公 編著
