CMOS互換プロセスで作製したバレーフォトニック結晶

CMOS互換プロセスで作製したバレーフォトニック結晶
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采用 CMOS 兼容工艺制造的 Valley 光子晶体

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
岩本敏
岩本敏
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
山口拓人;吉見拓展;関三好;大塚実;横山信幸;太田泰友;岡野誠;岩本敏

文献摘要

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