(11-20)配向AlN薄膜を用いた純横波モード共振子
(11-20)配向AlN薄膜を用いた純横波モード共振子
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(11-20) 使用取向AlN薄膜的纯横模谐振器
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松川真美
中科院分区：
文献类型：
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作者：
柳谷隆彦;木内正人;松川真美
