接線力による固体表面問の微小変位特性のナノ位置決めへの応用について
接線力による固体表面問の微小変位特性のナノ位置決めへの応用について
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固体表面切向力微小位移特性在纳米定位中的应用
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
川口尊久
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山田崇恭;西脇眞二;泉井一浩;吉村允孝;竹澤晃弘;川口尊久
