低温接合に基づく異種材料集積技術と三次元構造光マイクロシステムへの応用
低温接合に基づく異種材料集積技術と三次元構造光マイクロシステムへの応用
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基于低温键合的异种材料集成技术及其在三维结构光学微系统中的应用
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
日暮栄治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
四方俊幸;前田朋子;遊佐真一;日暮栄治
