Chemical Gradient of Contact Hole Latent Image Created in Chemically Amplified ExtremeUltraviolet Resists
Chemical Gradient of Contact Hole Latent Image Created in Chemically Amplified ExtremeUltraviolet Resists
复制标题
化学放大极紫外光刻胶中产生的接触孔潜像的化学梯度
DOI：
10.7567/jjap.52.046502
复制
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
T. Kozawa and T. Hirayama
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Takeshi Fujiwara;Mitsuru Uesaka;他;T. Kozawa and T. Hirayama
