G.Sasaki,H.Fukunaga,T.Suga and K.Tanaka: "Mechanism of the anodic bonding of PZT ceramics to silicon wafer" Proc.of International Electron Deviced and Materials Symposia. Symposium C,E,F. 77-80 (1996)
G.Sasaki,H.Fukunaga,T.Suga and K.Tanaka: "Mechanism of the anodic bonding of PZT ceramics to silicon wafer" Proc.of International Electron Deviced and Materials Symposia. Symposium C,E,F. 77-80 (1996)
复制标题
G.Sasaki、H.Fukunaga、T.Suga 和 K.Tanaka：“PZT 陶瓷与硅片阳极键合的机制”国际电子器件与材料研讨会论文集。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
