RFマグネトロンスパッタGa添加ZnO膜の導電性に及ぼすバッファ層の効果
RFマグネトロンスパッタGa添加ZnO膜の導電性に及ぼすバッファ層の効果
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缓冲层对射频磁控溅射Ga掺杂ZnO薄膜电导率的影响
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松田 良信
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松尾 直樹;坂本 康平;佐藤 貴紀;小山田 俊介;篠原 正典;松田 良信
