Utilization of Electromigration in Al Micro-coil Fabrication
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复制标题
电迁移在铝微线圈制造中的应用
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. X. Sun
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Saka (Y. X. Sun;S. R. Ahmed);Y. X. Sun
