渡辺隆行,神沢 淳,志村尚彦,坂野美菜: "反応性RF熱プラズマ中の特性に対する周波数の影響" 化学工学会第29回秋季大会研究発表講演要旨集. 2. 258 (1996)

渡辺隆行,神沢 淳,志村尚彦,坂野美菜: "反応性RF熱プラズマ中の特性に対する周波数の影響" 化学工学会第29回秋季大会研究発表講演要旨集. 2. 258 (1996)
复制标题

Takayuki Watanabe、Jun Kanzawa、Naohiko Shimura、Mina Sakano:“频率对反应性射频热等离子体特性的影响”化学工程师学会第 29 届秋季会议研究报告摘要集 2. 258 (1996)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献