目直し条件がメカノケミカル砥石による単結晶シリコンの超仕上げ性能に及ぼす影響（第2報）―砥石作業面の観察に基づく寿命評価―
目直し条件がメカノケミカル砥石による単結晶シリコンの超仕上げ性能に及ぼす影響（第2報）―砥石作業面の観察に基づく寿命評価―
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修整条件对使用机械化学砂轮的单晶硅超精加工性能的影响（第2次报告） - 基于砂轮工作表面观察的寿命评估 -
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
仲矢 進悟，古城 直道，山口 智実，廣岡 大祐，松森 昇，棚田 憲一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Toyoda Takahiro;Nakano Hideyuki;Aiki Hidenori;Ogata Tomomichi;Fukutomi Yoshiki;Kanno Yuki;Urakawa L. Shogo;Sakamoto Kei;Yamanaka Goro;Nagura Motoki;仲矢 進悟，古城 直道，山口 智実，廣岡 大祐，松森 昇，棚田 憲一
