Y.SUN,R.NISHITANI & T.MIYASATO.: "Study of the Growth Mechanism of Nanocrystalline Si : H Films Prepared by Reactive Hydrogen Plasma Sputtering of Silicon." Jpn.J.Appl.Phys.33. L1645-L1648 (1994)
Y.SUN,R.NISHITANI & T.MIYASATO.: "Study of the Growth Mechanism of Nanocrystalline Si : H Films Prepared by Reactive Hydrogen Plasma Sputtering of Silicon." Jpn.J.Appl.Phys.33. L1645-L1648 (1994)
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孙勇、西谷
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