マイクロプラズマバブルを用いた安定な微細配線技術の構築
マイクロプラズマバブルを用いた安定な微細配線技術の構築
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利用微小等离子体气泡构建稳定的精细布线技术
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山下 優，佐久間 臣耶，山西 陽子
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Oda Y.;Takahashi C.;Harada S.;Nakamura S.;Sun D.;Kiso K.;Urata Y.;Miyachi H.;Fujiyoshi Y.;Honigmann A.;Uchida S.;Ishihama;Y. and Toyoshima;F.;山下 優，佐久間 臣耶，山西 陽子
