東 鉄平: "エキシマランプによるシリコンウェハのSiO_2膜の還元プロセス"レーザー学会第291回研究会報告. 01-48. 1-5 (2001)

東 鉄平: "エキシマランプによるシリコンウェハのSiO_2膜の還元プロセス"レーザー学会第291回研究会報告. 01-48. 1-5 (2001)
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Teppei Higashi:“使用准分子灯在硅晶片上还原 SiO_2 薄膜”日本激光学会第 291 次会议报告 01-48(2001 年)。

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