RFマグネトロンスパッタリング法によって作製したMnドープITO薄膜の物性に対するアニール処理効果の評価
RFマグネトロンスパッタリング法によって作製したMnドープITO薄膜の物性に対するアニール処理効果の評価
复制标题
退火处理对射频磁控溅射法制备Mn掺杂ITO薄膜物理性能的影响评价
DOI：
--
复制
发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中村敏浩
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
武久進太郎;川村亮人;北川彩貴;中村敏浩
